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三氟化磷：特性與生產(chǎn)工藝​
三氟化磷（PF₃）是無色劇毒氣體，沸點(diǎn) - 101.8℃，常溫下穩(wěn)定，核心特性是 “強(qiáng)配位性 + 還原性”，能與金屬離子形成穩(wěn)定絡(luò)合物，工業(yè)生產(chǎn)以 “氟化法” 為主，需嚴(yán)格控制氟化物雜質(zhì)。​
工業(yè)生產(chǎn)采用白磷（P₄）與氟氣（F₂）直接反應(yīng)，在鎳制反應(yīng)釜中進(jìn)行，反應(yīng)原理：P₄ + 6F₂ → 4PF₃。工藝關(guān)鍵：原料純化（白磷純度≥99.9%，去除硫、砷雜質(zhì)；氟氣純度≥99.5%，去除 HF 雜質(zhì)），防止生成 PF₅、AsF₃等雜質(zhì)；反應(yīng)溫度控制在 - 50 至 - 30℃，避免局部過熱導(dǎo)致 P₄燃燒（白磷燃點(diǎn) 40℃），通過緩慢通入 F₂（流量控制 10-20L/h），確保反應(yīng)平穩(wěn)；生成的粗 PF₃氣體經(jīng)冷卻（降至 - 120℃以下，液化）、精餾（采用鎳制精餾塔，塔板數(shù) 20-30 塊），去除 PF₅、F₂等雜質(zhì)，純度可達(dá) 99.9% 以上。電子級三氟化磷（純度≥99.999%）需進(jìn)一步純化，采用低溫吸附法（用分子篩在 - 80℃吸附雜質(zhì)），控制金屬離子含量≤0.1ppb，非金屬雜質(zhì)（如 HF、PF₅）含量≤1ppb。生產(chǎn)設(shè)備需耐氟腐蝕，反應(yīng)釜、管道用鎳合金（如哈氏合金 C276），某電子化學(xué)品企業(yè)生產(chǎn)的電子級 PF₃，純度穩(wěn)定在 99.9995%，滿足半導(dǎo)體刻蝕工藝需求。

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